單向流潔凈室：單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動，并且在斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，準垂直單向流，水平單向流潔凈室等。

潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。

潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質(zhì)量的核心標準，該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準，一些知名凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執(zhí)行的高于國際化通行標準的凈化指標，凈化能力和環(huán)境適應力遠超國際品牌。

玷污物的污染包含對產(chǎn)品的損害和對人的危害。

污染包含直接污染和交叉污染(醫(yī)療范疇謂之感染)。

人是污染源的發(fā)源地：靜坐時，人體每分鐘散發(fā)10萬個粒子(?！?.5μm);

每天脫落6～13克表皮細胞，一年脫落人體細胞約3.5公斤。

半導體潔凈室內(nèi)微污染來源，經(jīng)測試，作業(yè)人員占80% 。