無菌室一般是在微生物實(shí)驗(yàn)室內(nèi)專辟一個(gè)小房間??梢杂冒宀暮筒AЫㄔ?。面積不宜過大,約 4 — 5 平方米即可,高 2.5 米左右。無菌室外要設(shè)一個(gè)緩沖間,緩沖間的門和無菌室的門不要朝向同一方向,以免氣流帶進(jìn)雜菌。無菌室和緩沖間都必須密閉。室內(nèi)裝備的換氣設(shè)備必須有空氣過濾裝置。
通過NICOLER技術(shù)的改良,使車間達(dá)到無塵無菌的新高度。
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。
功能和特點(diǎn)
①綠色環(huán)保產(chǎn)品。 ②無污染、無異味。 ③良好的隔音效果。 ④符合國(guó)家防火標(biāo)準(zhǔn)。 ⑤色澤多樣化,可靈活調(diào)整、組合適用所需的工作空間.
設(shè)備的材質(zhì)、來源及質(zhì)量控制: ①材質(zhì) 1、內(nèi)外型材 常見內(nèi)型材有熱熔鍍鋅鍍鋅鋼板、鋁合金等,具有彈性模量高、強(qiáng)度高、韌性好、熔點(diǎn)高,同時(shí)可以滿足隔音和防火的要求。 2、表面飾材 表面飾材包括玻璃和實(shí)體面板。玻璃有普通、鋼化和防彈玻璃,規(guī)格和參數(shù)各不相同,需要根據(jù)使用場(chǎng)所特性決定。實(shí)體面板包括多孔石膏板,碳化石灰板,混凝土板,鋁塑板和水泥木絲板等。 3、配套材料 配套材料包括百葉窗簾、玻璃、合頁、五金配件等。 ②質(zhì)量控制:格滿林的材料產(chǎn)品,嚴(yán)格按照ISO9001-2008標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行過程檢驗(yàn)和質(zhì)量控制。 在產(chǎn)品交接時(shí),接受方應(yīng)完成外觀和產(chǎn)品型號(hào)、規(guī)格和數(shù)量的驗(yàn)收,在安裝后進(jìn)行產(chǎn)品驗(yàn)收。
萬級(jí)凈化,環(huán)境凈化的一種,主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。
萬級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣,將室內(nèi)的污染逐漸排出,來實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng),拌有回流或渦流,不同等級(jí)的無塵室,主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來實(shí)現(xiàn)。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。