無菌定義是要求沒有活體微生物的存在,為了達到無菌車間內沒有活體微生物,無菌車間在產品制造過程中需要采取各種方法來去除制品中原有的微生物和防止制品受到微生物的污染。
一個普通的無塵凈化車間,會涉及到凈化裝飾、地面、凈化空調與通風系統(tǒng)、冷熱源系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、動力系統(tǒng)、通信系統(tǒng)、監(jiān)控系統(tǒng)、自動化控制系統(tǒng)、給排水系統(tǒng)、工藝管道系統(tǒng)等工程。
在無菌車間中,使空間內達到無菌要求,就是室內環(huán)境控制的重點??刂莆⑸锏纳L、殺滅或去除微生物的方法通常有兩種,一種為化學類,另一種為物理類。其中,化學方法有化學劑、氣化雙氧水、臭氧和環(huán)氧乙烷等;物理方法有濕熱或干熱、輻射和過濾等。
不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無塵車間主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。
無塵無菌車間內空氣的流動有兩種情況:一種是層流的(即室內一切懸浮粒子都保持在層流層中運動);另一種是非層流的(即室內空氣的流動是紊流的)。裝有一般空調系統(tǒng)的潔凈室,室內空氣的流動屬于非層流(紊流),既可使空氣中夾帶的混懸粒子迅速混合,也可使室內靜止的微粒重新飛揚,部分空氣還可出現(xiàn)停滯狀態(tài)。