東莞直線UVM對位平臺參數(shù)說明

臺面尺寸（mm）：150X150

底板尺寸（mm）：150X150

平臺等級：P級/UP級

重復(fù)精度（mm）：±0.004/±0.002

X/Y軸動作行程（mm）：±3

旋轉(zhuǎn)角度：±2°

螺桿外圓/導(dǎo)程（mm）：?006/01

平面度（mm）：±0.01

平行度（mm）：±0.01

水平動載荷（kg）：10

水平靜載荷（kg）：25

本體材質(zhì)：合金鋁/陽極處理

馬達(dá)種類：步進(jìn)28