潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室內(nèi)靜電導致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；

4．靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學現(xiàn)象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險的災(zāi)害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統(tǒng)計，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次。

煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點的時間。煙霧毒性大。無塵車間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時會產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。

潔凈室噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準，目的在于保障操作正常進行，滿足必要的談話聯(lián)系及良好的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標是：

1．煩惱的效應(yīng)由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率，層流罩。

2．對工作效率的影響這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個方面是：集中精神動作準確性工作速度

3．對綜合通訊的干擾。