潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

無塵車間生產(chǎn)工藝對密閉性能有著特殊要求，無塵車間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢迅速蔓延，有的無塵車間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財產(chǎn)損失。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴(kuò)散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機(jī)會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。

無塵車間風(fēng)管的組對、連接長度應(yīng)根據(jù)現(xiàn)場的施工現(xiàn)場的情況和吊裝設(shè)備而進(jìn)行確定。無塵車間風(fēng)管連接采用的密封材料應(yīng)滿足系統(tǒng)功能的技術(shù)條件。

例如，防、排煙系統(tǒng)或輸送溫度高于70℃的空氣或煙氣的無塵車間，應(yīng)采用耐熱橡膠板或不燃的耐溫、防火材料；輸送含有腐蝕介質(zhì)的氣體，應(yīng)采用耐酸橡膠板或軟聚氯乙烯板。