潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室內靜電導致的事故有以下幾方面；

1．靜電電引起的靜電電擊，引起人和恐懼感，并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷)；

2-靜電放電引起的放電電流，可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作，例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴重擊穿者計39塊，失效率競達78，這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏；

3．靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作；

4．靜電放電的發(fā)光可導致照像肢片等感光破壞；

5．靜電的力學現(xiàn)象可導致篩孔被粉塵堵塞，紡紗線紛亂，印刷品深淺不均和制品污染；凈化工程

6．靜電放電引起的危險的災害是成為可燃物的火源井引起爆炸，例如國外文獻統(tǒng)計，在手術室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，爆炸的36次，其中由靜電引起的達21次。

凈化工作臺原理的潔凈環(huán)境是在特定的空間內，潔凈空氣(進濾空氣)按設定的方向流動而形成的。以氣流方向來分，現(xiàn)有的超凈工作臺可分為垂直式，由內向外式以及側向式。從操作質量和對環(huán)境的影響來考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個特定的速度下降通過操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部前后部吸入的空氣混合在一起，并由鼓風機泵入后正壓區(qū)，在機器的上部，30的氣體通過排氣濾板從頂部排出，大約70的氣體通過供氧濾板重新進入操作區(qū)。為補充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過操作口從房間空氣中得到補充。這些空氣不會進入操作區(qū)，只是形成一個空氣屏障。

無塵車間風管穿過需要封閉的防火防爆樓板或墻體是采取的措施。應設鋼板厚度不小于1.6mm的預埋管或防護套管，無塵車間風管與防護套管之間應采用不燃柔性材料封堵。無塵車間風管穿越建筑物變形縫空間時，應設置柔性短管，無塵車間風管穿越建筑物變形縫墻體時，應設置鋼制套管，無塵車間風管與套管之間應采用柔性防水材料填充密實。