濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)工藝對(duì)密閉性能有著特殊要求，無(wú)塵車(chē)間內(nèi)空間密閉、平面布置曲折、風(fēng)管交錯(cuò)連通、復(fù)合裝修材料復(fù)雜，有的生產(chǎn)過(guò)程中使用易燃易爆物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，熱量難于散發(fā)，人員不便于疏散，風(fēng)管大量布置造成火勢(shì)迅速蔓延，有的無(wú)塵車(chē)間內(nèi)部還設(shè)有大量的昂貴儀器和設(shè)備，易造成重大的人員傷亡和財(cái)產(chǎn)損失。

煙氣熱量容易積聚。無(wú)塵車(chē)間一般呈密閉狀態(tài)，門(mén)窗少，發(fā)生火災(zāi)時(shí)，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時(shí)造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點(diǎn)的時(shí)間。煙霧毒性大。無(wú)塵車(chē)間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來(lái)很大的威脅。

潔凈室的清掃、。

1.潔凈室的清掃一般須在生產(chǎn)工藝結(jié)束后進(jìn)行;如有必要在生產(chǎn)前清掃，則工藝生產(chǎn)在凈化空調(diào)系統(tǒng)開(kāi)機(jī)運(yùn)行時(shí)間達(dá)到潔凈要求后方可開(kāi)始進(jìn)行。為防止交叉污染，清掃潔凈廠房設(shè)施均應(yīng)按產(chǎn)品特點(diǎn)、工序要求、潔凈度等級(jí)不同分別專(zhuān)用。

清掃工具一般采用集中固定式和便攜移動(dòng)式真空清掃設(shè)備。如不具備上述條件，也可采用不掉纖維的材料如絲光毛巾、尼龍布進(jìn)行擦拭，一般每天1次或數(shù)次。

工作臺(tái)及工器具清掃一般每天一次;10～1000級(jí)廠房墻壁、地面清掃，一般每周一次，1萬(wàn)～10萬(wàn)級(jí)每月一次。凈化空調(diào)系統(tǒng)每年宜清洗1～2次，并委托專(zhuān)門(mén)清掃人員進(jìn)行。