濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)佳溫度范圍為35—45。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨，噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作，所有選些都可能產(chǎn)生靜電，在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體（絕緣體），由于電荷產(chǎn)生后不易流動，因此表現(xiàn)為越容易帶電。

煙氣熱量容易積聚。無塵車間一般呈密閉狀態(tài)，門窗少，發(fā)生火災(zāi)時，煙氣熱量不易向外散出，火源的熱幅射經(jīng)四壁反射室內(nèi)迅速升溫，同時造成煙氣滯留，熱量劇增，大大縮短室內(nèi)各部位材料選到燃點的時間。煙霧毒性大。無塵車間內(nèi)裝修中使用了一些高分子合成材料，這些材料在發(fā)生燃燒時會產(chǎn)生大量濃煙，散發(fā)毒氣，給人員逃生和消防人員救火帶來很大的威脅。