潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒服感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

潔凈室中的防靜電潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評價其質(zhì)量的一個不可忽視的方面。所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負火災(zāi)蔓延途徑多、蔓延速度快。無塵車間內(nèi)通風(fēng)管道、電氣線路套管、技術(shù)夾層等彼此串通，發(fā)生火災(zāi)，特別是火勢初起未被發(fā)現(xiàn)而繼續(xù)送風(fēng)，風(fēng)管成為煙火迅速外串、殃及其它房間的重要通道，易造成煙熱氣流向其它房間和區(qū)域，造成火災(zāi)迅速蔓延。

無塵室在絕大多數(shù)情況下，運行中風(fēng)速越低，過濾器的使用效果越好。主要是因為小粒徑粉的擴散作用明顯，風(fēng)速低了，氣流在過濾材料中滯留的時間就長一些，粉塵就有更多的機會撞擊障礙物，因此過濾效率就高，經(jīng)驗表明，對于過濾器，風(fēng)速減少一半，粉塵的透過率會降低近一個數(shù)量級，風(fēng)速增加一倍，透過率會增加一個數(shù)量級。