四氫化鍺（Germane），也稱為鍺烷，是一種化學(xué)試劑、可用于制取高純度鍺。分子式為GeH4，分子量為76.63。甲鍺烷在較高溫度下時(shí)分解為鍺和氫氣。這種對(duì)熱不穩(wěn)定性被用于半導(dǎo)體工業(yè)中，即有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積（MOVPE）。由于甲鍺烷毒性較大，某些有機(jī)鍺化合物（如異丁基鍺）可以替代甲鍺烷，應(yīng)用于MOVPE中。
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