三氟化氯（chlorine trifluoride）是無機化合物，分子式為ClF?，分子量為92.45。有毒，有強腐蝕性，常溫下為無色氣體，降溫變?yōu)榫G色液體。可用作氟化劑、燃燒劑、推進劑中的氧化劑、高溫金屬的切割油等。中文名三氟化氯英文名chlorine trifluoride化學式ClF3分子量92.45CAS登錄號7990-91-2EINECS登錄號232-230-4熔點-76.3℃沸點11.3℃密度相對密度1.825 -78℃時為2.026外觀無色氣體或綠色液體應用用作氟化劑，燃燒劑，推進劑中的氧化物，高溫金屬的切割油等。（1）ClF3主要用來生產(chǎn)六氟化鈾（UF6），以及核燃料加工和后期處理，主要反應方程式：U + 3 ClF3→ UF6+ 3 ClF（2）在半導體工業(yè)中，三氟化氯被用于清潔化學氣相沉積的反應艙。它具有不需拆卸反應艙就可以清除艙壁附著的半導體物質(zhì)這一優(yōu)點。與其它代替的清潔劑不同，三氟化氯在使用前不需經(jīng)過等離子體激化，因為反應艙殘存的熱量就足以使它分解并與半導體材料反應。