等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

等離子體技術目前采用的有四類技術，介質(zhì)阻擋放電（雙介質(zhì)、單介質(zhì)）、放電（金屬、纖維）、板式放電、微波放電，實際應用也有采用組合模式。在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿游镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現(xiàn)一般情況下難以實現(xiàn)或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環(huán)境污染處理領域中的一項具有極強潛在優(yōu)勢的高新技術，等離子體受到了國內(nèi)外相關學科界的高度關注。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運行。）

等離子體化學反應過程中，低溫等離子廢氣處理設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場＋電子→電子

(2) 電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

(3) 活性基團＋分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團＋活性基團→生成物+熱