三氟化磷高純氨氣三氯氫硅三氟化氯三氟甲烷二氯二氫硅/二氯硅烷氟化氫三氯化硼溴化氫四氟化硅六氟化硫一氧化氮一氧化二氮氧硫化碳(COS)一氧化碳三氟甲烷四氯化鍺六氟乙烷
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