產(chǎn)品用途：

本產(chǎn)品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專用設備，烘箱溫度可達450℃

性能特點：

1真空度可達10 Pa

2精體內(nèi)氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口

3日本優(yōu)易控觸摸屏，升降溫斜率控制

4內(nèi)腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質(zhì)制作

型號 ZK-固化系列

內(nèi)箱尺寸（H*W*D) 20*20*40 30*30*60

控溫范圍 RT+20℃~450℃

溫度波動 ±0.5℃

真空度 10pa

氧含量 ≤20ppm

內(nèi)箱材質(zhì) SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質(zhì) 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料 硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置 聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率 9.0 12.0

電源 AC380V±10%3中50HZ