集成電路(IC)芯片在封裝工序之后,必須要經(jīng)過嚴格地檢測才能保證產(chǎn)品的質(zhì)量,芯片外觀檢測是一項必不可少的重要環(huán)節(jié),它直接影響到 IC 產(chǎn)品的質(zhì)量及后續(xù)生產(chǎn)環(huán)節(jié)的順利進行。外觀檢測的方法有三種:一是傳統(tǒng)的手工檢測方法,主要靠目測,手工分檢,可靠性不高,檢測效率較低,勞動強度大,檢測缺陷有疏漏,無法適應(yīng)大批量生產(chǎn)制造;二是基于激光測量技術(shù)的檢測方法,該方法對設(shè)備的硬件要求較高,成本相應(yīng)較高,設(shè)備故障率高,維護較為困難;三是基于機器視覺的檢測方法,這種方法由于檢測系統(tǒng)硬件易于集成和實現(xiàn)、檢測速度快、檢測精度高,而且使用維護較為簡便,因此,在芯片外觀檢測領(lǐng)域的應(yīng)用也越來越普遍,是 IC 芯片外觀檢測的一種發(fā)展趨勢。
通常集成電路芯片故障檢測必需的模塊有三個:源激勵模塊,觀測信息采集模塊和檢測模塊。源激勵模塊用于將測試向量輸送給集成電路芯片,以驅(qū)使芯片進入各種工作模式。故,通常希望測試向量集能盡量多得包含所有可能的輸入向量。觀測信息采集模塊負責對之后用于分析和處理的信息進行采集。觀測信息的選取對于故障檢測至關(guān)重要,它應(yīng)當盡量多的包含故障特征信息且容易采集。檢測模塊負責分析處理采集到的觀測信息,將隱藏在觀測信息中的故障特征識別出來,以診斷出電路故障的模式。
集成電路(integrated circuit)是一種微型電子器件或部件。采用一定的工藝,把一個電路中所需的晶體管、電阻、電容和電感等元件及布線互連一起,制作在一小塊或幾小塊半導體晶片或介質(zhì)基片上,然后封裝在一個管殼內(nèi),成為具有所需電路功能的微型結(jié)構(gòu);其中所有元件在結(jié)構(gòu)上已組成一個整體,使電子元件向著微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面邁進了一大步。它在電路中用字母“IC”表示。集成電路發(fā)明者為杰克·基爾比(基于鍺(Ge)的集成電路)和羅伯特·諾伊思(基于硅(Si)的集成電路)。當今半導體工業(yè)大多數(shù)應(yīng)用的是基于硅的集成電路。
集成電路或稱微電路(microcircuit)、 微芯片(microchip)、芯片(chip)在電子學中是一種把電路(主要包括半導體裝置,也包括被動元件等)小型化的方式,并通常制造在半導體晶圓表面上。
前述將電路制造在半導體芯片表面上的集成電路又稱薄膜(thin-film)集成電路。另有一種厚膜(thick-film)混成集成電路(hybrid integrated circuit)是由獨立半導體設(shè)備和被動元件,集成到襯底或線路板所構(gòu)成的小型化電路。