三氯氫硅(SiHCl3 )TCS
化學(xué)式SiHCl3中文名稱三氯氫硅英文名稱TrichlorosilaneCAS No.10025-78-2分子量135.43充裝系數(shù)250kg;20000kg應(yīng)用多晶硅、單晶硅原料、外延成長(zhǎng)、硅液、硅油、化學(xué)氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。產(chǎn)品規(guī)格≥99.95%
百科:
又稱硅氯仿,TCS。甲硅烷的三氯代物。為一種易流動(dòng)的無色液體,密度1.34克/厘米3 ;能溶于苯、氯仿和二硫化碳。
三氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動(dòng)易揮發(fā)的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn),遇明火則強(qiáng)烈燃燒,燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙,生成SiO2.HCl和Cl2。