三氟化磷（PF3）

化學式PF3中文名稱三氟化磷英文名稱Phosphorus TrifluorideCAS No.7783-55-3分子量87.969充裝量

應(yīng)用發(fā)生氣體、氟化劑、外延、離子注入。作為氣態(tài)磷離子注入源。產(chǎn)品規(guī)格≥99.99%

百科：

三氟化磷是一種無機化合物，其化學式為PF3，在常溫常壓下為無色無味的有毒氣體，液態(tài)時為無色透明液體，空氣中不太發(fā)煙，相當穩(wěn)定，加熱時與氫反應(yīng)生成PH3，能與水反應(yīng)生成亞磷酸和氟化氫。堿中也能分解?？扇苡谝掖?。除在高溫外，不腐蝕玻璃。

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