產品名稱:四氟化碳

其他名稱:四氟甲烷、R14、tetrafluoromethane、carbon tetrafluoride

分子式:CF4

UN No.UN1956

CAS No.75-73-0

產品純度:99.99~99.999%

包裝說明:47L DOT鋼瓶，鋼瓶尺寸23 × 130cm，316L SS材質閥門，閥門型號CGA660；40L高壓無縫鋼瓶，凈重30kg/瓶，瓶頭閥是銅質閥門是QF-2，出口螺紋是G5/8產品說明四氟化碳在常溫常壓下是無色無臭有輕微醚味，較易揮發(fā)的不燃燒的壓縮氣體，是化學性質非常穩(wěn)定的有機物。充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在硅和二氧化硅體系中，采用CF4-H2反應離子刻蝕時，通過調節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性。在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于四氟化碳的化學穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。產品應用用于電子器件表面清晰、印刷電路生產中的去污劑CF4是良好的電氣絕緣和滅弧材料，可作為變壓器、電力開關的絕緣氣體用于微電子工業(yè)的等離子蝕刻用于太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等用于塑料行業(yè)，如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯由于四氟化碳的溶氧性很好，所以被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的蝕刻注意事項四氟化碳是不燃性壓縮氣體。儲存于陰涼、通風倉間內。倉內溫度不宜超過60℃。遠離火種、熱源。防止陽光直射。應與易燃或可燃物分開存放。驗收時要注意品名，注意驗瓶日期，先進倉的先發(fā)用。搬運四氟化碳時輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。泄漏時，應迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風處，并進行隔離，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風，加速擴散。如有可能，即時使用。漏氣容器要妥善處理，修復、檢驗后再用。四氟化碳的物理化學性質

分子量：88.005

熔點(101.325kPa)：-186.8℃

沸點(101.325kPa)：-128.0℃

液體密度(-127.94℃，101.325kPa)：1603kg/m3

氣體密度(0℃，101.325kPa)：3.946 kg/m3

相對密度(氣體，0℃，101.325kPa)：3.05

氣液容積比(15℃，100kPa)：436 L/L

比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2747m3/kg

臨界溫度：-45.6℃

臨界壓力：3739kPa

臨界密度：629kg/m3

壓縮系數：

溫度℃壓縮系數100kPa1000kPa5000kPa10000kPa1 50.99810.97630.78320.6058500.99880.98660.87170.7637

熔化熱(-186.8℃)：7.609 kJ/kg

氣化熱(-127.94℃，101.325kPa)：135.65 kJ/kg

比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)：Cp=696 J/(kg·K)

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