用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設(shè)有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內(nèi)壓力抽至一定范圍內(nèi)時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復(fù)式真空泵等可直排大氣的真空泵。

羅茨真空機組在一般情況下，選用水環(huán)泵作為前級泵比其它真空泵更為有利，這主要是由于它能夠抽除大量的可凝性蒸汽，特別是當氣鎮(zhèn)油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化而影響性能，或者是真空系統(tǒng)不允許油污染的時候更為明顯。

低真空機組的主要特點是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的真空輸送、真空浸漬、真空過慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空機組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空機組，還需要根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過慮器等元件。

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