JC/T 2133—2012半導(dǎo)體拋光液用硅溶膠中雜質(zhì)元素量的測(cè)定

電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法

標(biāo)準(zhǔn)范圍：

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜(ICP-AES)法測(cè)定半導(dǎo)體拋光液用硅溶膠中雜質(zhì)元素含量的方法。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)中拋光液用的各種硅溶膠。雜質(zhì)元素包括：鋁、鋇、鈣、 絡(luò)、銅、鐵、鉀、鎂、錳、鈉、鎳、鈦、鋅、鋯等14種元素。

規(guī)范性引用文件：

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GB/T 602化學(xué)試劑雜質(zhì)測(cè)定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T 6682分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法

標(biāo)準(zhǔn)提要：

試樣通過相應(yīng)的稀釋處理或直接進(jìn)樣，在電感耦合等離子體炬焰中激發(fā)，發(fā)射出所含元素的分析線, 根據(jù)待測(cè)元素分析線的強(qiáng)度測(cè)定相應(yīng)元素的含量。

分析步驟：

1.試樣處理。

2.校準(zhǔn)曲線。

3.測(cè)定。

不確定度評(píng)定：

不確定度評(píng)定依照CNAS-GL06《化學(xué)分析中不確定度的評(píng)估指南》中提供的方法進(jìn)行(具體評(píng)定方法參見附錄B)。被測(cè)元素含量范圍在0.01 μg/mL?1μg/mL之間，測(cè)量不確定度應(yīng)小于該元素測(cè)量值的10%;被測(cè)元素含量范圍在1μg/mL?20μg/mL之間，測(cè)量不確定度應(yīng)小于該元素測(cè)量值的5%。