常規(guī)供氣系統(tǒng)：

??1、特種氣體采用50L的鋼瓶供氣，并放置于特定的氣瓶柜中。

??2、配置全自動的PLC控制器，彩色觸摸屏。

??3、面板采用壓力傳感器和氣動閥門，自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空。

??4、VMB采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助 去排空。

??5、惰性氣體多采用半自動氣瓶架，繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空。

??6、VMB主管氣動閥，氮氣吹掃;支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空。

??管道系統(tǒng)的設計

??1、材料的選擇：特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光(EP)管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、(<0.003微米)、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強的EP管。

??2、主管路系統(tǒng)設計：確認好氣體房和用氣點后，主管路系統(tǒng)的管道線路設置應線路短、拐彎少，布置美觀節(jié)省空間;為了控制流量，在氣源端可配置壓力變送器、溫控器、電子秤。

?特種氣體系統(tǒng)實驗室施工管理

??施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點

??1、氣管道采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍，所以要求施工人員需專業(yè)培訓彎管方面的知識。

??2、每日檢查材料質(zhì)量，需做好檢查記錄，記錄表包括管工彎管的尺寸、質(zhì)量、是否有變形和劃傷現(xiàn)象。

??3、焊工在施工前應注意先焊接試樣，確保焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。

??4、電源變更的時候，需重新作試樣。試樣每次要記錄參數(shù)，方便下次對比查看。

??5、在焊接作業(yè)開始后不間斷充氣的方式，從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護的狀態(tài)，不進行焊接作業(yè)時應當調(diào)小管內(nèi)氣壓。