控制系統(tǒng):是整個(gè)潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行的神經(jīng)中樞。由于潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)對(duì)象是危險(xiǎn)性的微生物,出于嚴(yán)格控制污染的原則,它要求以少的維護(hù)人員,運(yùn)用化的管理維護(hù)手段,來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)控每一個(gè)實(shí)驗(yàn)室中設(shè)備所處的物理環(huán)境,保證實(shí)驗(yàn)室運(yùn)行過(guò)程中始終處于相對(duì)負(fù)壓環(huán)境,防止危險(xiǎn)性微生物外泄。
無(wú)塵車(chē)間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過(guò)了整座晶片制造廠(chǎng)用電量的一半。之所以造成大量浪費(fèi)電力及HVAC的容量過(guò)剩,很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠(chǎng)時(shí)走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。率的設(shè)計(jì)和率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本,會(huì)造成工廠(chǎng)的運(yùn)行性能降低和能耗增加。 對(duì)已建成工廠(chǎng)的改建通常會(huì)陷入到毫無(wú)意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中
配電箱的進(jìn)出線(xiàn)選用低壓電纜,電纜的選擇應(yīng)符合技術(shù)要求。例如30kVA、50kVA變壓器的配電箱的進(jìn)線(xiàn)使用VV22-35×4電纜,分路出線(xiàn)使用同規(guī)格的VLV22-35×4電纜;80kVA、100kVA變壓器的配電箱的進(jìn)線(xiàn)分別使用VV22-50×4、VV22-70×4電纜,分路出線(xiàn)分別使用VLV22-50×4、VLV22-70×4電纜,其電纜與銅鋁接線(xiàn)鼻壓接后再用螺栓與配電箱內(nèi)接線(xiàn)樁頭連接。進(jìn)入制證車(chē)間之前,先要穿上防塵鞋套,車(chē)間門(mén)口就安放有自動(dòng)鞋套機(jī)。隨后,筆者走進(jìn)了一個(gè)兩端都有門(mén)的“小走廊”,“走廊”兩側(cè)的無(wú)數(shù)個(gè)小“吹風(fēng)機(jī)”不斷對(duì)筆者“吹風(fēng)”。這間“小走廊”名為“風(fēng)淋室”,“吹風(fēng)機(jī)”是旋轉(zhuǎn)噴嘴,能迅速清除附著在衣服上的灰塵、頭發(fā)、發(fā)屑等雜物。每一位工作人員和外來(lái)人員進(jìn)入潔凈室無(wú)塵車(chē)間之前,都要通過(guò)風(fēng)淋間“凈化”。風(fēng)淋室的兩道門(mén)電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。
潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。