回收范圍有:
1.硅片,電池片,缺角片,碎片,藍(lán)膜片,擴(kuò)散片,拋光片。
2.原生多晶,鍋底料,復(fù)拉料,P/N型單晶邊皮,多晶邊皮。
3.降級(jí)組件,二手組件, 客退組件,庫存組件,。
4.重?fù)搅?,硅粉等,各種硅料。7廢硅片回收拋光片檢測
包括目檢、幾何尺寸檢測和熱氧化層錯(cuò)檢測等。目檢是在正面高強(qiáng)度光或大面積散射光照射下目測拋光片上的原生缺陷和二次缺陷。幾何尺寸的檢測包括硅片的厚度、總厚度變化、彎曲度和平整度的檢測。厚度為硅片中心上、下表面兩個(gè)對(duì)應(yīng)點(diǎn)之間的距離;總厚度變化為同一硅片上厚度值與小值之差;彎曲度為硅片的中線面與參考平面之間距離的值與小值之差;平整度指硅片表面上點(diǎn)與點(diǎn)的高度差,用總指示讀數(shù)表征。硅片的熱氧化層錯(cuò)檢測是指硅拋光片表面的機(jī)械損傷、雜質(zhì)沾污和微缺陷等在硅片熱氧化過程中均會(huì)產(chǎn)生熱氧化層錯(cuò),經(jīng)擇優(yōu)腐蝕后,在金相顯微鏡下觀測熱氧化層錯(cuò)的密度,以此鑒定硅片表面的質(zhì)量。