實現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
潔凈室要達(dá)到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
(2) 根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
(3) 有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
(4) 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。
(5) 工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè),以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆??諝?。層流或單向氣流系統(tǒng)以恒定流量向下引導(dǎo)過濾空氣。層流氣流系統(tǒng)通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的單向流動。層流標(biāo)準(zhǔn)通常在便攜式工作站(LF罩)中說明,并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強制性的。
適當(dāng)?shù)臐崈羰以O(shè)計包括整個空氣分配系統(tǒng),包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中,這意味著在區(qū)域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應(yīng)用中,它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當(dāng)?shù)臐崈羰蚁到y(tǒng)設(shè)計相矛盾。
一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計建成的無塵潔凈房間。
二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設(shè)備,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。