實現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
(2) 根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
(3) 有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
(4) 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。
(5) 工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè),以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室空氣流量原理
潔凈室通過使用采用層流或湍流氣流原理的HEPA或ULPA過濾器來維持無顆??諝?。層流或單向氣流系統(tǒng)以恒定流量向下引導(dǎo)過濾空氣。層流氣流系統(tǒng)通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的單向流動。層流標(biāo)準(zhǔn)通常在便攜式工作站(LF罩)中說明,并且在ISO-1至ISO-4分類潔凈室中是強制性的。
適當(dāng)?shù)臐崈羰以O(shè)計包括整個空氣分配系統(tǒng),包括足夠的下游空氣回收。在垂直流動室中,這意味著在區(qū)域的周邊使用低壁空氣返回。在水平流動應(yīng)用中,它需要在過程的下游邊界使用空氣返回。使用天花板安裝的空氣返回與適當(dāng)?shù)臐崈羰蚁到y(tǒng)設(shè)計相矛盾。
把好風(fēng)管制作關(guān),才能保證系統(tǒng)的潔凈度
2.1 風(fēng)管制作前的準(zhǔn)備。加工制作潔凈系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)在相對密封的室內(nèi)進行。室內(nèi)的墻壁宜光滑、不產(chǎn)塵、不積塵,地面可鋪設(shè)加厚塑料地板,地板與墻體結(jié)合處宜用膠帶封貼,避免灰塵產(chǎn)生。風(fēng)管加工前,室內(nèi)必須做到干凈,無塵、無污染。可在打掃擦洗干凈后用吸塵器反復(fù)清理。制作風(fēng)管用工具必須用酒精或無腐蝕洗滌劑擦洗干凈后進入制作室內(nèi)。制作用設(shè)備不可能也不必要進入制作室內(nèi),但必須保持干凈,無灰塵。參加制作的工員宜相對固定,人員進入制作場所必須配戴一次性無塵帽、手套、口罩,工作服應(yīng)常換洗。制作用材料應(yīng)經(jīng)過二到三次酒精或無腐蝕清潔劑擦洗后,才能進入制作場所待用。
2.2 潔凈系統(tǒng)風(fēng)管制作要點。加工后半成品應(yīng)再次擦洗后進入下道工序,風(fēng)管下料咬口后應(yīng)立即組合成型,不宜久放。風(fēng)管法蘭加工要保證法蘭平面平整,規(guī)格要準(zhǔn)確,與風(fēng)管相配,以保證風(fēng)管組合連接時接口密封性好。風(fēng)管底部不得有橫向接縫,并且盡量避免縱向接縫,規(guī)格大的風(fēng)管應(yīng)盡量以整板制作,盡可能減少加強筋,必須設(shè)加強筋的也不得使用壓筋加強和風(fēng)管內(nèi)加強筋。風(fēng)管制作應(yīng)盡量采用聯(lián)合角或轉(zhuǎn)角咬口,6級以上的潔凈風(fēng)管不得使用按扣式咬口。咬口處鍍鋅層損壞的、鉚釘孔處以及法蘭焊接處的鍍鋅層損壞的必須補做防腐。風(fēng)管接縫翻邊裂縫處及鉚釘孔四周應(yīng)涂以硅膠密封。風(fēng)管翻邊必須平整均勻。翻邊寬度及鉚釘孔,法蘭螺孔必須嚴(yán)格按規(guī)范要求進行。柔性短管必須內(nèi)壁光滑,一般可選用人造革或塑膠,風(fēng)管檢查門墊料要用軟性橡膠。