實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí),必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1] :
(1) 對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過(guò)濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過(guò)濾器,對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣,進(jìn)行后一級(jí)過(guò)濾。為保護(hù)終端過(guò)濾器和延長(zhǎng)其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾。
(2) 根據(jù)潔凈室的等級(jí),合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
(3) 有足夠的風(fēng)量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
(4)不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí),選用層流流型;當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí),選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng),氣流速度不能過(guò)大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
(4) 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻,流速必須滿(mǎn)足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來(lái),使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
(5) 工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺(tái)不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí),宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè),以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí),宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè),以減少對(duì)室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室服裝包括靴子,鞋子,圍裙,胡須套,蓬松帽,工作服,面罩,連衣裙/實(shí)驗(yàn)室外套,禮服,手套和手指套,發(fā)網(wǎng),頭套,袖子和鞋套。使用的潔凈室服裝類(lèi)型應(yīng)反映潔凈室和產(chǎn)品規(guī)格。低級(jí)潔凈室可能只需要特殊的鞋子,鞋底完全光滑,不會(huì)跟蹤灰塵或污垢。但是,鞋底不得產(chǎn)生滑倒危險(xiǎn),因?yàn)榭偸莾?yōu)先考慮。進(jìn)入潔凈室通常需要潔凈室服。10,000級(jí)潔凈室可以使用簡(jiǎn)單的罩衫,頭套和短靴。對(duì)于10級(jí)潔凈室,需要小心的長(zhǎng)袍穿著程序,并配有拉鏈蓋,靴子,手套和完整的呼吸器外殼。
無(wú)塵潔凈室(Clean Room),亦稱(chēng)為無(wú)塵室,潔凈室或無(wú)塵車(chē)間。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒(méi)有無(wú)塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在 FED-STD-2里面,無(wú)塵潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。