實現(xiàn)潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。
(2) 根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風口排走。
(3) 有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風口。
(4) 工作區(qū)的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
(5) 工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側(cè),以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內(nèi)有通風柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風側(cè),以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室是任何給定的容納空間,其中規(guī)定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù),例如溫度,濕度和壓力。關(guān)鍵部件是微??諝猓℉EPA)過濾器,用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過HEPA過濾器,在某些需要嚴格清潔性能的情況下,使用超低顆??諝猓║LPA)過濾器。
選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓。他們通過氣閘,空氣淋浴和/或更衣室進入和離開潔凈室,他們必須穿著特殊的衣服,以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。
根據(jù)房間的分類或功能,人員的衣服可能與實驗室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限,或者與多層兔子套裝完全包裹在一起,并配有自給式呼吸器。
潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆?;蚶w維,以防止人員污染環(huán)境。這種類型的人員污染會降低半導體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能,并且例如可能導致醫(yī)務人員和醫(yī)療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。
過濾器
過濾器的基本知識
過濾器是潔凈室的主要凈化設備,是空氣凈化的主要手段。因此,對于從事潔凈室設計、建造和維護管理人員了解和掌握過濾器的基本知識是十分重要的。
1.過濾器的分類
按過濾器的性能(效率、阻力、容塵量)來劃分,通常將其劃分成粗效、中效、高中效、亞、(HEPA)和超(ULPA)六類過濾器。
我國國家標準《空氣過濾器》GB/T14295-93中將不同過濾器的效率和阻力規(guī)定如下:
國家標準《空氣過濾器》GB13554-92中規(guī)定將過濾器按性能劃分為A、B、C、D四類。D類又通稱為超過濾器(或稱為0.1μm過濾器或超低透過率過濾器)。