實現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施

潔凈室要達到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項具體措施 [1] ：

（1） 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時）作為終端過濾器，對進入潔凈室的空氣，進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進行過濾。

（2） 根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

（3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。

潔凈室氣流組織考慮原則

（1） 當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。

（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

（3） 為了防止灰塵的二次飛揚，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。

（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴散之前便流向回風(fēng)口。

（5） 工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計時要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。

（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當布置在亂流潔凈室時，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。

（7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。 [2]

潔凈室是任何給定的容納空間，其中規(guī)定減少微粒污染并控制其他環(huán)境參數(shù)，例如溫度，濕度和壓力。關(guān)鍵部件是微?？諝猓℉EPA）過濾器，用于捕獲0.3微米和更大尺寸的顆粒。輸送到潔凈室的所有空氣都通過HEPA過濾器，在某些需要嚴格清潔性能的情況下，使用超低顆?？諝猓║LPA）過濾器。

選擇在潔凈室工作的人員接受污染控制理論的廣泛培訓(xùn)。他們通過氣閘，空氣淋浴和/或更衣室進入和離開潔凈室，他們必須穿著特殊的衣服，以捕捉皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。

根據(jù)房間的分類或功能，人員的衣服可能與實驗室外套和發(fā)網(wǎng)一樣有限，或者與多層兔子套裝完全包裹在一起，并配有自給式呼吸器。

潔凈室服裝用于防止物質(zhì)從穿著者的身體上脫落并污染環(huán)境。潔凈室衣物本身不得釋放顆?；蚶w維，以防止人員污染環(huán)境。這種類型的人員污染會降低半導(dǎo)體和制藥行業(yè)的產(chǎn)品性能，并且例如可能導(dǎo)致醫(yī)務(wù)人員和醫(yī)療保健行業(yè)的患者之間的交叉感染。

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風(fēng)機加壓送風(fēng)→凈化送風(fēng)管道→送風(fēng)口→潔凈室→帶走塵埃（） → 回風(fēng)夾道→新風(fēng)、初效空氣處理。

重復(fù)以上過程，即可達到凈化目的。

技術(shù)參數(shù)

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；

萬級15－25次/小時；

千級50－52次/小時;

百級操作臺斷面風(fēng)速0.25-0.35m/s；

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；

溫度:冬季>16℃±2℃；夏季 新風(fēng)補充量：總送風(fēng)量的20%－30%；

結(jié)構(gòu)材料

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。

2.地面采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料潔凈地板。

3.凈化通風(fēng)管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。