潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

氣壓規(guī)定

對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

選址原則：無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上 [1] 。

防靜電無塵車間裝修

想要了解防靜電凈化車間的特征，我們先要對靜電的特點(diǎn)有個了解。靜電是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷，但是靜電并不是靜止的電，而是宏觀上暫時停留在某處的電。我們生活中比較常見的是，晚上在黑暗中脫衣服時，經(jīng)常聽到噼啪的聲音，還帶有藍(lán)色的光。

靜電的產(chǎn)生有利有弊，但是靜電產(chǎn)生于無塵車間，則對車間內(nèi)正常生產(chǎn)影響有較大的危害，例如容易引起電子設(shè)備故障，導(dǎo)致電磁干擾；促使電路和電子元件老話；吸附灰塵，降低成品率。因此，在進(jìn)行無塵車間裝修設(shè)計時，就要將防靜電一并納入考慮范圍內(nèi)，將靜電對生產(chǎn)的影響降到。

在無塵車間的防靜電控制中，首要考慮的是使用防靜電地板和防靜電彩鋼板。比如防靜電地板又稱為靜電控制地板，適合半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)、航空航天、醫(yī)藥、生物技術(shù)等行業(yè)的無塵車間，能幫助保護(hù)敏感電子設(shè)備、配裝線，以及保護(hù)產(chǎn)品免受人為制造的干擾。防靜電地板，能對進(jìn)入到電腦終端或其他敏感電子設(shè)備的景點(diǎn)放射問題，進(jìn)行良好的控制，以阻止對內(nèi)部電路的破壞，能保護(hù)大型數(shù)據(jù)處理設(shè)施，阻止危險的靜電放射直接波及病人。