潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

氣壓規(guī)定

對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

選址原則：無塵車間地址的選擇應(yīng)符合有利生產(chǎn)、方便生活、節(jié)省投資和經(jīng)營費(fèi)用的原則。廠址應(yīng)設(shè)在自然環(huán)境和水質(zhì)較好,大氣含塵濃度較低,地形、地物、地貌造成的小氣候有利于生產(chǎn)、節(jié)能的區(qū)域,應(yīng)遠(yuǎn)離大量散發(fā)粉塵、煙霧、有毒害氣體和微生物的區(qū)域,如機(jī)場、鐵路、碼頭、交通要道等,并在污染源和全年主導(dǎo)風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)面,且有一定的防護(hù)距離。無塵車間與交通主干道間距宜50米以上 [1] 。

配電箱安裝時(shí)的消防措施

配電箱在安裝、施工時(shí)，它的一些操作事項(xiàng)就已經(jīng)成為了工作的首要前提。因此，配電箱的施工過程中規(guī)定了一些相關(guān)的消防措施。

1.安裝的電工和電氣焊工必須要持證上崗。

2.參加施工的人員認(rèn)真學(xué)習(xí)操作規(guī)程，建立崗位責(zé)任制。

3.絕緣電阻測試時(shí)須兩人操作，防止電擊傷人。

4.在正式電氣工程通電前，保護(hù)接地線必須連接可靠，標(biāo)識明顯。

5.絕緣工具的護(hù)套護(hù)墊應(yīng)完好、無破損，老化嚴(yán)重的工具要及時(shí)更換。

6.進(jìn)行電氣焊接作業(yè)時(shí)須有人“看火”，防止火渣引燃周圍物品。施焊場所需配備消火器和滅火用水。電氣焊作業(yè)完畢要認(rèn)真檢查現(xiàn)場有無起火隱患，確認(rèn)后方可離開現(xiàn)場。

配電工程的工作帶有一定的危險(xiǎn)性，任何小的細(xì)節(jié)都應(yīng)該注意，因?yàn)橐稽c(diǎn)點(diǎn)的疏忽都可能會成為隱患。希望分享的這些知識可以幫助各位在配電施工過程可以更的完成。