潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過(guò)25度,濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。
氣壓規(guī)定
對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
無(wú)塵車間不同級(jí)別空氣潔凈度的空氣過(guò)濾器的選用、布置要點(diǎn):對(duì)于300000級(jí)空氣凈化處理,可采用亞過(guò)濾器代替過(guò)濾器;空氣潔凈度100級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣凈化處理,應(yīng)采用初、中、過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾器;中效或空氣過(guò)濾器宜按小于或等于額定風(fēng)量選用;中效空氣過(guò)濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)的正壓段;或亞空氣過(guò)濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的末端。
化妝品凈化車間設(shè)計(jì)及廠房無(wú)塵車間裝修
化妝品并不是一個(gè)新興的行業(yè),古代人民已經(jīng)會(huì)使用各種化妝品來(lái)襯托自己的美麗?,F(xiàn)代化妝品行業(yè)源于化學(xué)工業(yè),經(jīng)過(guò)了礦物油時(shí)代、天然成分時(shí)代和零負(fù)擔(dān)時(shí)代?;瘖y品技術(shù)越來(lái)越先進(jìn),化妝品對(duì)皮膚的刺激也越來(lái)越少,對(duì)化妝品凈化車間的要求也在不斷提升。
普通敞開(kāi)式空間,每立方米空氣中粉塵粒子的含量為500萬(wàn)個(gè),遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到化妝品的生產(chǎn)要求。為了符合車間無(wú)塵的標(biāo)準(zhǔn),在廠房設(shè)計(jì)和配備上,要求將一定空間范圍內(nèi)空氣中的粉塵、等污染物排除,并將車間的溫度、濕度、氣流和靜電等控制在一定范圍內(nèi),也就有了1萬(wàn)級(jí)、10萬(wàn)級(jí)、30萬(wàn)級(jí)等凈化標(biāo)準(zhǔn)。
化妝品凈化車間在設(shè)計(jì)與安裝上有清晰的規(guī)則,原則上應(yīng)當(dāng)設(shè)置原料間,制作間,半成品存放間,灌裝間,包裝間,容器清潔、、干燥、存放間,倉(cāng)庫(kù),檢驗(yàn)室,儲(chǔ)存間一般采用一萬(wàn)級(jí)空氣凈化標(biāo)準(zhǔn),其他實(shí)驗(yàn)室、原料室、灌裝間更衣室等采用十萬(wàn)級(jí)空氣凈化標(biāo)準(zhǔn),各個(gè)取件封閉獨(dú)立,防止交叉污染,確保所有化妝品無(wú)污染,保證產(chǎn)品品質(zhì)。