實現(xiàn)潔凈度要求的通風措施
潔凈室要達到潔凈等級,必須有綜合措施,其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護管理等。其中空氣潔凈措施是實現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言,主要有以下幾項具體措施 [1] :
(1) 對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。因此,必須選用或亞過濾器(潔凈級別低時)作為終端過濾器,對進入潔凈室的空氣,進行后一級過濾。為保護終端過濾器和延長其壽命,必須使空氣先經中效過濾器進行過濾。
(2) 根據(jù)潔凈室的等級,合理選擇潔凈室的氣流分布流型,在工作區(qū)應避免渦流區(qū);盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達工作區(qū);氣流的流動有利于潔凈室內的微粒從回風口排走。
(3) 有足夠的風量,既為了稀釋空氣的含塵濃度,又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
(4)不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
(1) 當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。
(2) 減少渦流,避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
(3) 為了防止灰塵的二次飛揚,氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風口不應設在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側墻下部均勻布置回風口。
(4) 工作區(qū)的氣流應均勻,流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求;潔凈氣流應盡可能把工作部位圍罩起來,使污染物在擴散之前便流向回風口。
(5) 工作設備布置時要留有一定的間隔,為送、回風口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流組織設計時要考慮高大設備對氣流組織的影響。
(6) 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內。當布置在亂流潔凈室時,宜將其置于工作區(qū)氣流的上風側,以提高室內的空氣潔凈度。
(7) 潔凈室內有通風柜時,宜置于工作區(qū)氣流的下風側,以減少對室內的污染。 [2]
潔凈室的負荷特點和節(jié)能
一般情況下,凈化空調系統(tǒng)的能耗比一般空調系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負荷特點不同。就潔凈室,尤其是半導體工業(yè)潔凈室而言,其負荷特點是:由于排風量大造成新風量大,故新風處理所需冷量消耗大;送風量大,輸送動力消耗大,風機管道溫升高;生產設備的發(fā)熱量大,消耗冷量大。這三項負荷之和一般占總負荷的70%~95%。因此,凈化空調系統(tǒng)節(jié)能措施應從減少新風量(減少排風量);控制送風量(合理確定換氣次數(shù));充分利用回風量;選擇低阻力率的空調和凈化設備和可變風量的風機等入手。
風管的搬運、安裝是確保潔凈度的關鍵
3.1 安裝前的準備。凈化空調系統(tǒng)安裝前必須按照潔凈室主要施工程序制定進度計劃,計劃必須與其他專業(yè)相協(xié)調,并且應嚴格按照計劃實施。凈化空調系統(tǒng)安裝首先必須在建筑專業(yè)(包括地面、墻面、樓板)油漆、吸聲、高架地板等方面完成后進行。安裝前在室內完成風管定位、吊點安裝等工作,并對吊點安裝時損壞的墻壁面、樓板進行補漆處理。
3.2 室內清潔后,將系統(tǒng)風管運入。風管搬運過程中應注意封頭的保護,風管進入現(xiàn)場前應進行表面清潔工作。
3.3 參加安裝的工作人員需經吹淋后,穿戴無塵衣、口罩、鞋套才可進行施工。使用的工具、材料、部件要進行酒精擦洗,無塵紙檢查,符合要求后方可進入施工現(xiàn)場。
3.4 風管管件、部件連接應邊打開封頭邊連接,風管內做到無油污,法蘭墊料應為不易老化有彈性強度的材料,并且不得直縫拼接。安裝后開口末端仍要保持封口狀態(tài)。
3.5 風管保溫應在系統(tǒng)管路安裝及漏風檢測合格后進行,保溫完成后室內必須做到徹底打掃干凈。