實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施

潔凈室要達(dá)到潔凈等級(jí)，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級(jí)的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1] ：

（1） 對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級(jí)別低時(shí)）作為終端過濾器，對(duì)進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行后一級(jí)過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。

（2） 根據(jù)潔凈室的等級(jí)，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。

（3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。

（4）不同等級(jí)的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。

潔凈室氣流組織考慮原則

（1） 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級(jí)時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級(jí)時(shí)，選用亂流流型。

（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

（3） 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。

（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。

（5） 工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。

（6） 潔凈工作臺(tái)不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí)，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。

（7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對(duì)室內(nèi)的污染。 [2]

潔凈室的負(fù)荷特點(diǎn)和節(jié)能

一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言，其負(fù)荷特點(diǎn)是：由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大；送風(fēng)量大，輸送動(dòng)力消耗大，風(fēng)機(jī)管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量（減少排風(fēng)量）；控制送風(fēng)量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風(fēng)量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。

風(fēng)管的材質(zhì)是確保空調(diào)潔凈度的基本條件

材料選用。凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管一般采用鍍鋅鋼板加工。鍍鋅鋼板應(yīng)選用優(yōu)質(zhì)板，鍍鋅層標(biāo)準(zhǔn)宜>314g/m2，且應(yīng)鍍層均勻，無起殼，無氧化。吊架、加固框、連接螺栓、風(fēng)管法蘭、鉚釘均應(yīng)采用鍍鋅件；法蘭墊料應(yīng)采用有彈性、不產(chǎn)塵、有一定強(qiáng)度的軟橡膠或者乳膠海綿；風(fēng)管的外保溫可采用密度32kg/m3以上難燃PE板，以專用膠粘貼，不得使用玻璃棉等纖維制品。

材料采購。必須按照計(jì)劃按品種選用同種產(chǎn)品中的有質(zhì)量保證的制造商的產(chǎn)品。實(shí)物檢查時(shí)還應(yīng)注意材料規(guī)格、材料光潔度，板材還應(yīng)檢查平整度、邊角角方度、鍍鋅層的粘結(jié)度等。材料采購后運(yùn)輸過程中還應(yīng)注意保持完好的包裝，防潮、防撞擊、防污染。

材料保管。凈化空調(diào)用材料應(yīng)設(shè)立專用倉庫，或集中存放。存放處要干凈，無污染源，避免潮濕，特別是風(fēng)閥、風(fēng)口、消聲器等部件更應(yīng)嚴(yán)密包裝存放。凈化空調(diào)的材料要縮短倉庫存放時(shí)間，宜隨用隨進(jìn)貨。制作風(fēng)管用的板材應(yīng)將整件運(yùn)至現(xiàn)場(chǎng)，避免散件搬運(yùn)途中引起的污染。