實(shí)現(xiàn)潔凈度要求的通風(fēng)措施
潔凈室要達(dá)到潔凈等級，必須有綜合措施，其中包括工藝布置、建筑平面、建筑構(gòu)造、建筑裝修、人員和物料凈化、空氣潔凈措施、維護(hù)管理等。其中空氣潔凈措施是實(shí)現(xiàn)潔凈等級的根本保證。就空氣潔凈而言，主要有以下幾項(xiàng)具體措施 [1] ：
（1） 對潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣。因此，必須選用或亞過濾器（潔凈級別低時(shí)）作為終端過濾器，對進(jìn)入潔凈室的空氣，進(jìn)行后一級過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
（2） 根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)；盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū)；氣流的流動有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
（3） 有足夠的風(fēng)量，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型。
（4）不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值。
潔凈室氣流組織考慮原則
（1） 當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為100級時(shí)，選用層流流型；當(dāng)產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時(shí)，選用亂流流型。
（2） 減少渦流，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。
（3） 為了防止灰塵的二次飛揚(yáng)，氣流速度不能過大。亂流潔凈室的回風(fēng)口不應(yīng)設(shè)在工作區(qū)的上部。宜在地板上或側(cè)墻下部均勻布置回風(fēng)口。
（4） 工作區(qū)的氣流應(yīng)均勻，流速必須滿足工藝和衛(wèi)生的要求；潔凈氣流應(yīng)盡可能把工作部位圍罩起來，使污染物在擴(kuò)散之前便流向回風(fēng)口。
（5） 工作設(shè)備布置時(shí)要留有一定的間隔，為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流組織設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對氣流組織的影響。
（6） 潔凈工作臺不宜布置在層流潔凈室內(nèi)。當(dāng)布置在亂流潔凈室時(shí)，宜將其置于工作區(qū)氣流的上風(fēng)側(cè)，以提高室內(nèi)的空氣潔凈度。
（7） 潔凈室內(nèi)有通風(fēng)柜時(shí)，宜置于工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)，以減少對室內(nèi)的污染。 [2]
潔凈室的負(fù)荷特點(diǎn)和節(jié)能
一般情況下，凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多。其原因是兩者之間的負(fù)荷特點(diǎn)不同。就潔凈室，尤其是半導(dǎo)體工業(yè)潔凈室而言，其負(fù)荷特點(diǎn)是：由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大，故新風(fēng)處理所需冷量消耗大；送風(fēng)量大，輸送動力消耗大，風(fēng)機(jī)管道溫升高；生產(chǎn)設(shè)備的發(fā)熱量大，消耗冷量大。這三項(xiàng)負(fù)荷之和一般占總負(fù)荷的70%~95%。因此，凈化空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能措施應(yīng)從減少新風(fēng)量（減少排風(fēng)量）；控制送風(fēng)量（合理確定換氣次數(shù)）；充分利用回風(fēng)量；選擇低阻力率的空調(diào)和凈化設(shè)備和可變風(fēng)量的風(fēng)機(jī)等入手。
潔凈室分類
潔凈室按空氣清潔程度分類。在美國的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209（A至D）中，在一立方英尺的空氣中測量等于或大于0.5mm的顆粒數(shù)，并且該計(jì)數(shù)用于對潔凈室進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)的209E版本也接受該度量標(biāo)準(zhǔn)。聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E在國內(nèi)使用。較新的標(biāo)準(zhǔn)是國際標(biāo)準(zhǔn)組織的TC 209。這兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)實(shí)驗(yàn)室空氣中的顆粒數(shù)量對潔凈室進(jìn)行了分類。潔凈室分類標(biāo)準(zhǔn)FS 209E和ISO 14644-1要求進(jìn)行特定的顆粒計(jì)數(shù)測量和計(jì)算，以對潔凈室或潔凈區(qū)域的清潔度水平進(jìn)行分類。在英國，英國標(biāo)準(zhǔn)5295用于對潔凈室進(jìn)行分類。該標(biāo)準(zhǔn)即將被BS EN ISO 14644-1取代。
潔凈室根據(jù)每單位空氣允許的顆粒數(shù)量和大小進(jìn)行分類。諸如“100級”或“1000級”的大數(shù)字指的是FED_STD-209E，并且表示每立方英尺空氣允許的0.5mm或更大尺寸的顆粒的數(shù)量。該標(biāo)準(zhǔn)還允許插值，因此可以描述例如“類2000”。