潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。

氣壓規(guī)定

對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

防靜電

潔凈室中由于靜電引起的的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。

所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(+)負(fù)注塑無(wú)塵車(chē)間工程難點(diǎn)及定制型方案

注塑車(chē)間在光學(xué)、電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生等眾多行業(yè)中被廣泛應(yīng)用，是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)。上述行業(yè)，皆需要在無(wú)塵的空間里生產(chǎn)，所以注塑無(wú)塵車(chē)間也應(yīng)運(yùn)而生了。注塑無(wú)塵車(chē)間根據(jù)行業(yè)的精密度要求及生產(chǎn)工藝的不同，對(duì)凈化級(jí)別的差異也較大，需按照具體情況單獨(dú)分析。

注塑無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中需使用塑膠原料、色粉、水口料、模具、注塑機(jī)、周邊設(shè)備、工裝夾具、噴劑、各種輔料及包裝材料等，注塑生產(chǎn)需要24小時(shí)連續(xù)運(yùn)作，要想使注塑車(chē)間的生產(chǎn)運(yùn)作順利，需要對(duì)原料房、碎料房、配料房、生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)、后加工區(qū)、工具房、半成品區(qū)、辦公室等區(qū)域的各個(gè)環(huán)節(jié)和崗位運(yùn)作與協(xié)調(diào)管理。此外，注塑生產(chǎn)容易產(chǎn)生非甲烷總烴廢氣，長(zhǎng)時(shí)間接觸對(duì)人體有影響。