潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)濕度范圍為35—45%。
氣壓規(guī)定
對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
噪聲控制
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是：
1．煩惱的效應(yīng)
由于噪聲，使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒，一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧，比較吵鬧和極吵鬧7個(gè)煩惱等級(jí)。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者，即為高煩惱，高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
2．對(duì)工作效率的影響
這主要看三方面的反應(yīng)水平，這三個(gè)方面是：集中精神，動(dòng)作準(zhǔn)確性，工作速度；
3．對(duì)綜合通訊的干擾
這主要分為：清楚或滿意，稍困難，困難，不可能
對(duì)以上三方面指標(biāo)都用A聲級(jí)來評(píng)價(jià)。在50年代曾提出用一條頻譜曲線作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)即各頻帶中心頻率的聲壓級(jí)不得超過該曲線。后來了解到刷A等級(jí)來計(jì)量噪聲與噪聲的語音干擾和煩惱程度更為臺(tái)適，可以代替倍頻帶聲壓級(jí)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)的指標(biāo)。
防靜電無塵車間裝修
想要了解防靜電凈化車間的特征，我們先要對(duì)靜電的特點(diǎn)有個(gè)了解。靜電是一種處于靜止?fàn)顟B(tài)的電荷，但是靜電并不是靜止的電，而是宏觀上暫時(shí)停留在某處的電。我們生活中比較常見的是，晚上在黑暗中脫衣服時(shí)，經(jīng)常聽到噼啪的聲音，還帶有藍(lán)色的光。
靜電的產(chǎn)生有利有弊，但是靜電產(chǎn)生于無塵車間，則對(duì)車間內(nèi)正常生產(chǎn)影響有較大的危害，例如容易引起電子設(shè)備故障，導(dǎo)致電磁干擾；促使電路和電子元件老話；吸附灰塵，降低成品率。因此，在進(jìn)行無塵車間裝修設(shè)計(jì)時(shí)，就要將防靜電一并納入考慮范圍內(nèi)，將靜電對(duì)生產(chǎn)的影響降到。
在無塵車間的防靜電控制中，首要考慮的是使用防靜電地板和防靜電彩鋼板。比如防靜電地板又稱為靜電控制地板，適合半導(dǎo)體、微電子、光學(xué)、航空航天、醫(yī)藥、生物技術(shù)等行業(yè)的無塵車間，能幫助保護(hù)敏感電子設(shè)備、配裝線，以及保護(hù)產(chǎn)品免受人為制造的干擾。防靜電地板，能對(duì)進(jìn)入到電腦終端或其他敏感電子設(shè)備的景點(diǎn)放射問題，進(jìn)行良好的控制，以阻止對(duì)內(nèi)部電路的破壞，能保護(hù)大型數(shù)據(jù)處理設(shè)施，阻止危險(xiǎn)的靜電放射直接波及病人。