TREK645/646 靜電卡盤電源

TREK 645軟件驅(qū)動式靜電卡盤電源，可滿足各種要求苛刻的應(yīng)用，效率及吞吐量是其它品牌產(chǎn)品的三倍，徹底消除了晶片粘貼及晶片爆裂的情況，能夠更好地控制顆粒物對晶片的污染。

應(yīng)用

TREK64強大通用性，可用于多種特有的工具/工藝，而不需要為每種不同的工具/工藝選配一種新電源。并內(nèi)置抓取晶片檢測功能（臨界值可通過程序設(shè)置）：指明晶片抓取事件，由低壓正弦波產(chǎn)生的電容性電流，在相位A及相位B輸出上疊加合成，可被監(jiān)測但是也可通過程序設(shè)置禁用。疊加波形用于指示無晶片，有晶片，或晶片夾緊狀態(tài)。

靜電吸附驅(qū)動的材料抓取搬運；半導體晶片加工；平板及其它加工材料的非機械化轉(zhuǎn)移，材料不適合機械夾持方法的。

輸出相位

同步高壓輸出：兩個同步高壓輸出（輸出相位A及輸出相位B）幅度相同，極性與補償電壓相反。

電壓A（基準相位）: 0 to ±2KV

電壓B（相位B=[-1]x 相位A）：0 to ±2KV

輸出電壓范圍：0 to ±2KV DC

輸出電流范圍：0 to ±6.5mA DC 峰值容量10mA

內(nèi)部控制

補償電壓（此功能可通過程序禁用）：一個高達±2KV的補償電壓可同步添加到每個相位的輸出。不管A和B處的電壓和極性是什么，添加補償電壓后，補償電壓的幅值及極性同時在輸出A及B處出現(xiàn)。補償電壓和每個相位的輸出電壓總和不能超過±2KV。

輸出波形：每個DC輸出電壓（相位A及相位B）的高低與時間的升降對稱 ，或者可通過用戶設(shè)定的夾持及松開的波形來編輯。

輸入

設(shè)置高壓值：HV幅值可以通過設(shè)備在內(nèi)部或從外部控制

設(shè)置補償電壓：補償電壓可以通過設(shè)備在內(nèi)部或從外部控制

輸出電壓監(jiān)視器（背板連接器）

輸出比：1 V/200 V

相位B DC：精度優(yōu)于滿量程的2%

偏移電壓：< 10mV

輸出雜訊：< 50mV rms

穩(wěn)態(tài)電壓泄漏電流監(jiān)視器

輸出比：1V/100μA

DC 精度：±5μA

輸出雜訊：< 50mV rms

電容性負載選擇：根據(jù)系統(tǒng)及靜電卡盤的物理構(gòu)形，卡盤抓取的電容狀態(tài)范圍可通過程序在0-10，20 或30nF（相間）間選擇。

參數(shù)

尺寸：43.7mm H x 421.6mm W x 457.3mm D

面板寬度：482.6mm

重量：3.86Kg

連接器： 15針D型ITT Canon，用于連接遠程監(jiān)控設(shè)備，9-針D型ITT Canon RS-232,3針 FCT D型 高壓，標準A型 USB，以太網(wǎng)（選配）及面板

PowerON/OFF電源開/關(guān)： 2位搖桿開關(guān)

運行環(huán)境

溫度： 0℃-35℃

濕度： 達85%，無結(jié)露

海拔高度：達2000m

電氣參數(shù)

DC輸入接口： 2.0mm 鎖定DC 插孔，中心觸點為正極，殼部為負極（與Switchcraft S761K 插頭連接）

接地： 接地螺栓

電源要求：24VDC，1.7A