鈦 靶

一、牌號(hào)

國內(nèi)牌號(hào)：TA1、TA2 美標(biāo)牌號(hào)：GR1、GR2

二、靶材的主要性能要求:

（1）純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一，因?yàn)榘胁牡募兌葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過在實(shí)際應(yīng)用中，

對(duì)靶材的純度要求也不盡相同。

（2）雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對(duì)不同雜質(zhì)

含量的要求也不同。例如，半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材，對(duì)堿金屬含量和放射性元素含量

都有特殊要求。

三、規(guī)格

Φ100*40，Φ98*40，Φ95*45，Φ90*40，Φ85*35較常見，其他規(guī)格可按客戶要求制作。