去離子水（deionized water）是指除去了呈離子形式雜質后的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規(guī)定的去離子定義為：去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指采用離子交換樹脂處理方法?，F(xiàn)在的工藝主要采用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起的繁殖。

在半導體行業(yè)中，去離子水被稱為超純水或是18兆歐水。

去離子水制取工藝及其特點：

1、離子交換樹脂制取去離子水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：

原水多介質過濾器活性炭過濾器精密過濾器陽床陰床混床后置保安過濾器用水點。

（特點：污染比較大，自動化程度低，初期投入低）

2、反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合制取去離子水的方式，其基本工藝流程為：

原水多介質過濾器活性炭過濾器精密過濾器反滲透設備混床超純水箱超純水泵后置保安過濾器用水點。

（特點：污染小，自動化程度高，初期投入中等，價格適中）

3、反滲透設備與電去離子（EDI）設備進行搭配制取去離子水的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為?/p>

原水多介質過濾器活性炭過濾器精密過濾器反滲透設備電去離子（EDI）超純水箱超純水泵后置保安過濾器用水點。

（特點：環(huán)保，自動化程度高，初期投入大，價格相對比較貴。

用途：

1、實驗室、化驗室用水，一般實驗室的常規(guī)試驗、配置常備溶液、清洗玻璃器皿等；

2、電子工業(yè)生產(chǎn)，如顯像管玻殼、顯像管、液晶顯示器、線路板、計算機硬盤、集成電路芯片、單晶硅半導體等；

3、電力鍋爐，鍋爐所需軟化水、除鹽；

4、汽車、家用電器、建材表面涂裝、電鍍、鍍膜玻璃清洗等；

5、石油化工行業(yè)，化工反應冷卻水、化學藥劑、生產(chǎn)配液用水等；

6、工業(yè)紡織印染、鋼鐵清洗用水等；

7、食品、飲料、酒類、化妝品生產(chǎn)用水；

8、海水、苦咸水等凈化

處理步驟：

從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理 ：

1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質

2、然后高壓通過反滲透膜

3、后一般還要經(jīng)過一步紫外以去除水中的微生物

4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程電阻率可達到18兆。

相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電阻率一般不如純度高的去離子水，半導體工業(yè)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水

新型設備：

目前被廣泛應用的EDI系統(tǒng)就是現(xiàn)在為熱門的新型電除鹽系統(tǒng)，它取代傳統(tǒng)離子混床裝置成為純水行業(yè)的新星。EDI系統(tǒng)不但彌補了傳統(tǒng)工藝的缺陷簡化工藝步驟，而且還提高生產(chǎn)效率；不論是從設備本身的性能，還是經(jīng)濟投資方面都比傳統(tǒng)的去離子水設備更具優(yōu)勢。