硅錠不合格品

嚴重線痕、厚薄片：TV>220±60μm。

崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。

氣孔片：硅片中間有穿孔

。

外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。

倒角片（同心度）：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意兩邊的夾角>90°±0.8。

凹痕片：硅片兩面凹痕之和>30μm。

臟

片：硅片表面有嚴重污漬且發(fā)黃發(fā)黑。

尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的范圍。

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