為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)力的要求,新一代線鋸必須提升切割速度,使用更長的硅塊從而提高切割荷載。更細的切割線和更薄的硅片都提升了生產(chǎn)力,同時,先進的工藝控制可以管理切割線拉力以此保持切割線的牢固性。
使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產(chǎn)量的一個創(chuàng)新方法。應用材料公司的MaxEdge? 系統(tǒng)(圖三 3)采用了獨特的兩組獨立控制的切割組件(圖 4)。
MaxEdge是業(yè)界個專門設計使用細切割線的線鋸系統(tǒng) ,可達到80μm。相對于業(yè)界的應用材料公司HCT B5線鋸系統(tǒng),這些改進減少了硅料損失使產(chǎn)量提高多達50%。
更高生產(chǎn)力的線鋸系統(tǒng)在同樣的硅片產(chǎn)量下可以減少機臺數(shù)量。因此,制造商可以大幅降低設備、操作人員和維護的成本。
降低硅片的消耗量也就是直接降低了太陽能電力的每瓦成本。