電子工業(yè)用超純水概述

半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區(qū)分不同水質。

電子工業(yè)用超純水設備的工藝流程

電子工業(yè)用超純水設備的工藝大致分成以下幾種：

1、電子工業(yè)用超純水設備采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水沙炭過濾器精密過濾器原水箱陽床陰床混床（復床）純水箱純水泵后置精密過濾器用水點

2、電子工業(yè)用超純水設備采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水沙炭過濾器精密過濾器原水箱反滲透設備混床（復床）純水箱純水泵后置精密過濾器用水點

3、電子工業(yè)用超純水設備采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的工藝，也是一種環(huán)保，經濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水沙炭過濾器精密過濾器原水箱反滲透設備電去離子（EDI）純水箱

目前電子工業(yè)用超純水設備制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進行不同組合搭配衍生而來。現將他們的優(yōu)缺點分別列于下面：

1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

2、第二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

3、第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經濟，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。

電子工業(yè)用超純水設備通常由多介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。