空氣壓縮機:按工作原理，空氣壓縮機可分為容積式和速度式兩大類。目前空氣壓縮機多采用往復(fù)活塞式空氣壓縮機、離心式空氣壓縮機和螺桿式空氣壓縮機。

空氣冷卻器:是用來降低進入空氣干燥凈化器和空分塔前壓縮空氣的溫度，避免進塔溫度大幅度波動,并可析出壓縮空氣中的大部分水分。 空分設(shè)備的發(fā)展歷程,是工藝流程和主要設(shè)備結(jié)構(gòu)不斷革新優(yōu)化的過程, 空分塔內(nèi):主要包括有主換熱器、液化器、精餾塔、冷凝蒸發(fā)器等。 空氣過濾器:為減少空氣壓縮機內(nèi)部機械運動表面的磨損， 保證空氣質(zhì)量， 空氣在進入空氣壓縮機之前，必須先經(jīng)過空氣過濾器以清除其中所含的灰塵和其他雜質(zhì)。通常采用氮水冷卻器（由水冷卻塔和空氣冷卻塔組成：水冷塔是用空分塔內(nèi)出來的廢氣冷卻循環(huán)水，空冷塔是用水冷塔出來的循環(huán)水冷卻空氣）、氟里昂空冷器。

空氣干燥凈化器:壓縮空氣經(jīng)空氣冷卻器后仍含有一定的水分、二氧化碳、乙炔和其他碳氫化合物。被冷凍的水分和二氧化碳沉積在空分塔內(nèi)會堵塞通道、管道和閥門，乙炔積聚在液氧內(nèi)有爆炸的危險，灰塵會磨損運轉(zhuǎn)機械。為了保證空分裝置的長期運行，必須設(shè)置專門的凈化設(shè)備，清除這些雜質(zhì)?？諝鈨艋某Ｓ梅椒ㄊ俏椒ê蛢鼋Y(jié)法。目前國內(nèi)在中小型制氮裝置中廣泛采用分子篩吸附法。

制氧設(shè)備包括空氣壓縮機、空氣凈化組件、空氣儲罐組件、氧氮分離組件、氧氣儲罐組件、氧氣凈化檢測系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、備用氣源系統(tǒng)（用戶自備）等七大部分組成。吸附壓力高于大氣壓，一般在30～100Kpa，采用真空泵解吸。VPSA法是目前采用多的一種制氧工藝，制氧電耗一般在0.32～0.5KWh/m3,裝置規(guī)模300～10000 m3/h。（鋰篩，CECA G5000 ,日本東漕）均壓結(jié)束后，大氣進氣充壓到接近大氣壓，鼓風(fēng)機開始進氣時空塔流速介于兩床和三