在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7℃）13.33kPa，介電常數（25℃，0.5Mpa）1.0006。揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機化合物之一，在900攝氏度時，不與鋼、鎳、鎢、鉬反應，僅在碳弧溫度下緩慢分解，微溶于水，在25攝氏度及0.1Mpa下其溶解度為0.0015％（重量比），然而與可燃性氣體燃燒時， 會分解產生有毒氟化物，危險性類別為第2.2類不燃氣體。

用途

四氟甲烷是目前微電子工業(yè)中用量的等離子蝕刻氣體，其高純氣及四氟甲烷高純氣配高純氧氣的混合氣，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、超低溫制冷劑、泄漏檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。