產品介紹:

Tropel00為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數(shù)據(jù)。00能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進行測量。

產品特點：

無接觸和無損傷測量

適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰

適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面

測量多種不同指標：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓

完整的分析系統(tǒng)：

三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度

可以實現(xiàn)自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量

超過15年的工業(yè)應用，全球幾百臺的裝機量

技術參數(shù)：

度：50nm （2.0μ″）

重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

分辨率：5nm （0.2μ″）

可測量工件尺寸：25mm-200mm

動態(tài)測量范圍：>100um

測量數(shù)據(jù)點：230,000 / measurement

測量時間：5秒

電源：～220V 50Hz

典型客戶:

國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，F(xiàn)reiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……

國內：塞維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學，大連理工大學，中國科學院半導體所，中國科學院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……