全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準是為了保證橢偏儀測量的可重復性和性。已獲得專利的自動樣品對準裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進行地貌圖測量，包括翹曲晶片。

全自動光譜橢偏儀 - 產(chǎn)品特點

全自動樣品校準

高測量速率 < 8秒

消除了全波段范圍內(nèi)的盲點

可測量透明和吸收基底

高測量精度

具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能

友好的軟件界面，強大數(shù)據(jù)分析功能

具有實驗數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能

光譜橢偏儀 - 技術(shù)指標

光源：氙燈

光斑直徑：1-3mm

入射角范圍：20°到90°自動控制

波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°

波長精度：1nm

測量時間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）

入射角度精度：0.01

光譜橢偏儀 - 可選配

CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm

樣品顯微鏡

高穩(wěn)定性消色差補償器

透射測量架

XY移動樣品臺

光譜橢偏儀 - 典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導體客戶。