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ASML 一直處于高度戒備狀態(tài)。 去年，該公司兩次提高了生產(chǎn)目標(biāo)：它希望到 2025 年出貨約 600 臺(tái) DUV 和 90 臺(tái) EUV 光刻機(jī)，而去年分別為不到 200 臺(tái)和 35 臺(tái)。在典型的一周內(nèi)，數(shù)百人在 Veldhoven 開始他們的新工作。由于持續(xù)的芯片短缺，交付問題每天都在發(fā)生。更不用說像今年年初柏林工廠發(fā)生火災(zāi)這樣的挫折，導(dǎo)致 EUV 晶圓夾具的生產(chǎn)暫時(shí)癱瘓。