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EUV光刻機耗能巨大 芯片制造商生產(chǎn)與節(jié)能減排難并重 鳳凰網(wǎng)     2022-08-26 12:33    

據(jù)彭博社報道,ASML新一代EUV每臺耗電約1百萬瓦,三星、臺積電等芯片制造大廠能源消耗巨大;臺積電對化石燃料高度依賴,2025年耗能估占中國臺灣省的12.5%。 世界僅此一家的EUV公司ASML,旗下新一代的EUV光刻機耗資高達1.5億美元,包含10萬個部件和長達2公里的布線。EUV光刻機體現(xiàn)著更先進芯片的制造過程正變得復雜和能源密集。ASML當前每臺EUV的額定耗電量約為1百萬瓦,約為前幾代設備的10倍,但由于沒有替代品來制造最先進的半導體,芯片行業(yè)可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。

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