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近日，中國科學技術大學（以下簡稱“中國科大”）網站對外發(fā)布，中國科大在6G濾波器領域取得重要進展。該研究成果由微電子學院左成杰教授研究團隊在鈮酸鋰（LiNbO3）壓電薄膜上設計并實現(xiàn)了Q值超過100000的高頻（6.5 GHz）微機電系統(tǒng)（MEMS）諧振器，與文獻中現(xiàn)有的工作相比，把Q值提升了2個數量級。